Tumbuhan oksigen terutamanya menghasilkan oksigen menggunakan kaedah pemisahan udara kriogenik, proses spesifiknya adalah seperti berikut:
Prarawatan udara: Udara ditapis untuk membuang habuk dan kekotoran, dan kemudian ditekan oleh pemampat.
Penyejukan dan pencairan: Udara bertekanan disejukkan kepada keadaan cecair menggunakan unit penyejukan.
Pemisahan penyulingan: Dalam lajur penyulingan, menggunakan perbezaan takat didih antara oksigen (takat didih -183 darjah ) dan nitrogen (takat didih -196 darjah ), nitrogen diwap dan diasingkan dengan pemanasan dan penyulingan, meninggalkan oksigen cecair terutamanya.
Pengumpulan produk: Selepas pengewapan, oksigen cecair menghasilkan oksigen-ketulenan tinggi yang dikehendaki, biasanya dengan ketulenan lebih 99.6%.
Kaedah ini menggunakan perubahan fizikal untuk memisahkan oksigen dan nitrogen. Bahan mentah tersedia secara meluas dan murah, menjadikannya sesuai untuk-pengeluaran industri berskala besar. Di samping itu, terdapat kaedah pengeluaran oksigen lain seperti penjerapan ayak molekul dan elektrolisis air, tetapi kaedah pemisahan udara kriogenik adalah kaedah utama yang digunakan dalam industri.